飞利浦虽然已解体,但却孕育出了ASML

风 2018-05-2610:49:02 评论 794

我为科技狂

中国(大陆)芯片制造产业当前面临多个技术难点,其中之一就是,中国几家主要芯片制造商今后都必须在自家晶圆工厂中安装高端EUV光刻机(极紫外光刻机),方能生产出更高端芯片。然而,目前,在全球,仅有荷兰ASML(阿斯麦)能够为所有芯片制造商研制EUV光刻机。

此前,台媒《天下杂志》记者曾经专访过ASML执行长皮特·瓦希德(Peter Wennink)。并且,皮特·瓦希德回答了记者这么两个问题。

记者向皮特·瓦希德所提问题之一是:“ASML出自飞利浦,而当年的飞利浦是有名的高度垂直整合,样样自己做,你们为何会走出开放式创新的研发模式?”皮特·瓦希德向记者给出答案,简单来说就是:1984年,荷兰飞利浦当时面临经营困境,不得已在集团内部实施大规模裁员方案。ASML也是在那一年从飞利浦独立了出来。起初,ASML其实非常缺乏技术研发经费,而飞利浦本就自顾不暇,没有能力向ASML提供技术研发经费。ASML要在恶劣市场环境里生存下来,就想到一个好办法,那就是ASML在欧洲甚至全球范围内,主动去找到更多组织机构并与之建立合作关系,从而为自身构建起一个大型技术研发网络。皮特·瓦希德向记者说道:“我们去找政府争取经费,还去找供应商,告诉他们我们的构想是什么,并问他们和我们在技术研发上展开合作好吗?我们一同分享利润。我们因此打造一个很大的研发网络。”

记者向皮特·瓦希德所提问题之二是:“飞利浦虽然已解体,但却孕育出ASML,请问荷兰是怎么做到的,可以给面临后PC时代的台湾一些建议吗?”皮特·瓦希德向记者说出这样一句话:“当初飞利浦样样都干,最后还是解体了,这证明大型企业巨人的时代已经不合适宜了。未来的主流该是企业、研究机构分工的开放式创新。”按皮特·瓦希德所持一大观点,一个国家科技产业是否强大,最终能发展到何等强大程度,首先得看这个国家当局肯在基础科研方面投入多大资源。而一家科技公司要想在区域或者全球市场中取得辉煌成功,除了要和一流人才一路同行外,还应该坚持在某个行业专注技术研发和创新。

言归正传,日前,台媒《电子时报》记者首次专访了ASML中国区总裁金泳璇(Young-Sun Kim)。金泳璇向记者表示:一方面,中国半导体生产设备市场规模将在未来几年迎来大发展,2018-2019年更是有望呈现跳跃式增长,ASML也将深耕中国市场,还将和中国某些科研机构在技术研发方面开展深度合作。另一方面,ASML对全球各大芯片制造商皆“一视同仁”,只要有一家中国芯片制造商向ASML成功下单EUV光刻机,ASML就能够为这家中国芯片制造商生产出1台甚至多台EUV光刻机。况且,现在已经有家中国芯片制造巨头在和ASML洽谈首台EUV光刻机订单(7nm制程工艺)。“如果最终订单确认,最快预期2019年EUV会首次移入中国晶圆厂,我们对在中国客户装入中国第一台EUV光刻机,抱持乐观的期待”。

下文为金泳璇和《电子时报》记者对话原文。

问:针对国内市场 、客户,各方现在传出许多声音,听说国内晶圆厂都预定不到EUV光刻机 “有钱难买EUV”? 请问受到产量的限制,还是相传受到国际条约的外在制约?

答:首先,我必须澄清这绝非事实。中国本地的晶圆厂与所有国际客户的要求,从ASML而言都是一视同仁的,只要是确认订单,EUV要进口到中国完全没有任何问题。由于EUV零组件多达5万多个部件,从客户下单到正式交货,交期约21个月,这个情况,对每个客户都是完全一致的。

事实上,国内客户已进入7纳米工艺制程技术研发阶段,并且与ASML展开EUV的商谈。如果最终订单确认,最快预期2019年EUV会首次移入中国晶圆厂,我们对在中国客户装入中国第一台EUV光刻机,抱持乐观的期待。同时认为一旦一家中国客户采用,其他客户也会快速跟进。

问:EUV似乎是持续推进摩尔定律、延续未来纳米工艺往下延伸的关键,未来进一步规划与ASML对摩尔定律的看法?

答:毫无疑问摩尔定律会继续下去,但每一制程技术节点之间的时间会延长,技术与资本门槛变得更高。浸润式显影技术走到三重曝光(triple-patterning)阶段,成本已然超过EUV,生产交期更长、技术更为复杂,从量产的性价比角度,EUV在7纳米以下技术节点已属于最适方案。目前EUV光源已经可达250watt,达到每小时量产125片12吋晶圆,下一阶段5纳米技术节点以下High-NA EUV已经在布局研发。

ASML光刻机工作原理简图。

问:目前中国市场业务布局与销售情况如何? 2017年全年成长幅度与2018年的增长率预估?

答:全球半导体行业版图位移,不仅本地晶圆厂,包括国际晶圆厂也在增加中国投资,ASML预期,中国光刻机市场规模具30亿欧元潜力。总体而言,目前ASML在中国市场的装机量累积已达约500台,2018年可望续增超过50台的装机量。不仅一线大客户,还涵盖许多中、小型晶圆厂共计多达40多家客户。

从销售额轨迹来看,中国市场销售额在2013-2015年维持持平,2016年微幅成长至6亿欧元,2017年上半年中国市场销售水平已达4亿欧元,因此今年将较去年将有明显增长。由于中国晶圆厂2018-2019年持续投入资本扩充产能,ASML 2018年销售很可能创下中国区销售新高的纪录,而2019年也会持续呈现更明显的跳跃式增长。

ASML一直秉持“客户在哪里就走到哪里”,目前在中国已经各地设立11个销售与服务据点包括新成立的南京分公司,明年初可能在成都设立分公司进一步深化服务当地客户。

为了强化客户服务与中国客户深度合作关系,ASML也不断壮大营运团队,总部于上海、北京与深圳设立研发中心,全中国员工近600名,今、明两年会持续扩大团队,吸纳优秀人才,并与科研机构展开深度研发合作与人才培训。

对于中国客户来说,单纯只添购设备、使用设备已经不足以满足其需求,提供深度而全方位地光刻解决方案(Holistic lithography solution)与客户携手开展强化微缩技术与优化良率的制程调控,才能符合中国客户的深度需求。

风

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